芯明天壓電納米位移臺
納米位移臺/壓電位移臺/壓電平移臺/壓電納米位移臺
納米位移臺即為可產生納米級步進位移的位移平臺，精度在納米級。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅動源，分多種驅動方式，如直驅式、放大機構式、馬達式。三者相比，響應速度快的為直驅式結構的壓電納米位移平臺，行程較大的是壓電馬達式壓電納米位移平臺，可達毫米、厘米甚至米量級。
直驅式機構-壓電納米位移臺
直驅式機構的壓電納米位移臺具有多種外觀，如柱形、環(huán)形、平臺型等。結構如下圖所示。柱形更適于單軸運動、單螺紋負載固定、空間受限的應用。而平臺型可輸出1至3維的位移，適于單軸或多軸的位移要求的應用。
參數(shù)舉例
型號：P66.XY
運動軸：X、Y
位移范圍：34µm/軸
承載能力：7kg
參數(shù)舉例
型號：PSt150/10/60VS15
運動軸：Z
位移范圍：57µm
推力：2300N
放大式機構-壓電納米位移臺
放大式機構的壓電納米位移臺是通過分析、設計特殊鉸鏈結構，將壓電陶瓷產生的位移進行放大輸出，放大倍數(shù)自由設計，一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀可分為平臺式和橢圓結構式。
參數(shù)舉例
型號：P11.XYZ
運動軸：X、Y、Z
位移范圍：110µm/軸
承載能力：600g
橢圓結構
參數(shù)舉例
型號：P06.X40A
運動軸：Z(收縮)
位移范圍：41µm
出力：125N
型號：P06.X500R
運動軸：Z(膨脹)
位移范圍：560µm
出力：100N
